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    上海新昇02專項40-28nm項目順利通過正式驗收

    2020-09-29

    2020年9月28日,“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項(02重大專項)實施管理辦公室組織專家組在上海新昇召開02專項綜合績效評價會。由上海新昇承擔的“40-28nm集成電路制造用300mm硅片技術研發”項目順利通過了驗收。

    本次項目驗收組由15位專家組成,由02專項咨詢委主任馬俊如先生擔任組長。會上專家組成員聽取了項目完成情況報告,現場測試報告和用戶使用報告,審閱驗收資料、查看項目審計報告,抽查原始憑證、材料清單等相關資料,并進行了現場考察。經過問詢、討論,驗收專家組認為該專項完成成績優異,決定該項目通過驗收。

    通過承擔此項02重大專項,上海新昇成功開發了300mm拋光片和外延片成套制備技術,各項技術指標均達到任務合同書的考核要求,構建了一支高水平的技術與管理團隊,自主創新能力不斷提升并完成了知識產權布局,圓滿完成了項目既定的15萬片/年的產能建設目標。

       驗收會上,專家組對新昇在項目實行過程中取得的成果給予高度評價,經過艱苦努力,新昇實現了我國 300mm大硅片產業化的產業化突破,具有十分重大的意義。后續,新昇要保持國內300mm半導體硅片行業龍頭企業優勢,始終以前瞻的眼光、先進的技術水平和創新的精神適應不斷變化的市場,為中國的集成電路行業發展貢獻力量。


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